（原标题：路维光电苦求功能型掩膜版专利神秘顾客注册，灵验防患基板受杂质轰击出现挫伤）

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金融界2023年12月23日音问，据国度学问产权局公告，深圳市路维光电股份有限公司苦求一项名为“一种功能型掩膜版过火制备工艺、讹诈“，公开号CN117265494A，苦求日历为2023年9月。

专利摘录线路，本发明波及掩膜版制造本领界限，具体公开了一种功能型掩膜版过火制备工艺、讹诈，功能型掩膜版中的缓冲层在涂胶前，神秘顾客注册成功承袭磁控溅射镀在图案层上，然后承袭湿刻蚀工艺去除图案层待刻蚀位置所对应的缓冲层。本发明改造传统功能型镀膜制作工艺，将缓冲层在基板涂胶前，成功镀在图案层上，把图案层算作基板的保护层，幸免基底在磁控溅射制备缓冲层的进程中所产生的高能粒子轰击到基板上，灵验防患了基板受杂质轰击出现挫伤，从而幸免掩膜版家具报废。

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本文源自：金融界

作家：谍报员神秘顾客注册